富加镓业氧化镓单晶衬底实现批量交付

据公开资料显示，杭州富加镓业科技有限公司于2019年末在富阳成立，是国内率先开展氧化镓产业化布局的企业之一。该公司依托中国科学院上海光学精密机械研究所的技术积累，专注于超宽禁带半导体材料的研发与制造，核心业务涵盖氧化镓单晶衬底、同质外延片以及晶体生长设备。目前，该企业已建成国内首条产能达万片级别的氧化镓衬底生产线，产品尺寸跨越2至12英寸，并拥有数十项国内外专利，同时牵头制定了该领域的首个国家标准，且通过了相关质量体系认证。

据该企业官方微信发布的消息，其研发的(011)面氧化镓单晶衬底已具备稳定的批量交付能力，能够持续向全球科研单位及半导体制造商供货，有效弥补了国内在多晶面衬底规模化供应方面的不足。据官方稿件披露，此次量产供货的核心产品为2英寸规格，并提供小尺寸现货，同时接受4英寸衬底及外延片的定制订单。各项参数如厚度、翘曲度及位错密度等均达到量产标准，可广泛应用于射频芯片、高压功率器件及紫外探测器等研发与中试环节。

在技术攻关方面，凭借自主研发的晶体生长与精密抛光工艺，该产品成功克服了(011)晶面易碎裂及表面加工均匀性不佳等量产瓶颈。第三方检测结果表明，其晶体完整度与电学均匀性均媲美国际先进水平，并已获得众多国内科研机构及功率器件厂商的长期订单。此外，据官方透露，公司构建了衬底与外延一体化交付模式，掌握了低缺陷同质外延核心技术。其外延片曾协助九峰山实验室研制出耐压突破9000V的氧化镓MOSFET器件，创下全球纪录。此次新产品的批量供货，进一步丰富了企业的产品矩阵，为国内上游材料市场提供了更多选择。

在产能扩充与技术升级方面，该公司近期宣布成功制备出全球首款12英寸氧化镓单晶。同时，其自主研发的VB法长晶设备已顺利通过多家客户的现场验收，实现了核心长晶装备的国产化替代与对外销售。目前，其常规衬底产品线已扩充至26款，并能根据客户具体需求提供定制化的导电型或半绝缘型解决方案。