东方晶源高能电子束设备再次出机，进驻先进产线

东方晶源微电子科技（北京）股份有限公司（简称“东方晶源”）已建立包含EBI、DR-SEM、CD-SEM以及HV-SEM在内的电子束量检测产品线，能够满足缺陷检测、工艺复检、关键尺寸量测和三维结构overlay等多种场景的使用需求。

近期，该公司的HV-SEM高能电子束装备再次完成交付，并进入国内先进制程生产线。此前，其首台自研同类设备已发往国内头部晶圆制造企业。此次设备的落地应用，推进了高能电子束量检测装备的产业化进度，有助于完善国内先进制程高端量检测设备的技术布局。

在3D-NAND、DRAM、先进逻辑芯片及先进封装等工艺中，HV-SEM利用高能电子束的深层成像特性，可应用于in-die SEM overlay、超高深宽比（HAR）3D结构量测以及深层缺陷检测等环节，是集成电路工艺研发与量产过程中的重要设备。

HV-SEM作为面向先进制程的高端电子束量检测装备，需要集成CD-SEM的高精度量测功能、DR-SEM的BSE/SE多通道成像技术，并结合EBI大数据算力系统以进行海量数据的智能算法分析。为此，东方晶源开发了高能电子束控制与校准系统，以及适配先进制程的SEM overlay量测算法。针对线宽尺寸微缩的趋势，公司对工件台纳米级运动控制等核心组件进行了优化，以提升设备的精度与稳定性。

在研发方面，东方晶源基于45keV高能电子光学技术，同步推进现有产品量产与新型号研发。公司持续对高能电子光学系统、高性能BSE探测器、多通道成像、大算力DPU架构及专用自动化校准体系等核心技术进行迭代，使国产高能电子束量检测装备的性能达到国际主流水平。后续，该公司计划推进HV-SEM硬件与自主EDA软件的结合，进一步完善从设计到制造的HPO全流程工艺优化体系。