上海精测第100台电子束检测设备出货

7月27日，上海精测半导体技术有限公司（以下简称“上海精测”）正式交付第100台电子束量测与检测设备。目前，该系列设备已广泛应用于晶圆缺陷检测与复检、关键尺寸量测、聚焦离子束分析以及智能缺陷分类等芯片前道制造的关键环节，能够满足逻辑芯片、存储芯片及功率半导体等多种制程的生产需求，并已批量进入国内多家主流晶圆制造厂。

在半导体前道制造领域，高端电子束量测与检测设备属于核心关键装备，其核心技术和市场份额此前长期由海外企业主导。为突破这一技术瓶颈，精测电子研发团队针对高分辨率电子光学系统设计制造、智能量测与检测分类算法、高速高精度系统控制等核心技术难题展开攻关。经过多年研发与迭代，该公司实现了设备核心部件的完全自主研发与生产，填补了国内在高端电子束量测与检测领域的多项技术空白。

据精测电子此前透露，其半导体业务的客户群体已覆盖中芯国际、华虹集团、合肥长鑫和晶合集成等国内绝大多数主流晶圆厂。通过与多家头部晶圆制造企业建立长期深度的合作关系，该公司的主要产品已实现批量应用，并持续获得重复性订单。