东方晶源科创板IPO获受理，主打芯片良率检测设备

6月30日，上海证券交易所官网显示，东方晶源微电子科技（北京）股份有限公司的科创板首次公开发行股票并上市申请已正式获得受理。

根据其提交的招股书，该企业此次上市所募集的资金，主要计划投入到计算光刻与设计工艺协同优化EDA工具的研发升级、高端半导体良率管理设备的产业化及研发升级项目中，并用于补充日常流动资金。

在业务布局方面，该公司聚焦于集成电路制造类EDA软件以及量检测设备的研发、生产和销售。为了攻克芯片生产过程中的良率难题，东方晶源通过将硬件量检测设备与软件EDA产品深度融合，向业界提供提升芯片制造良率的综合解决方案。

该企业已构建起多元化的良率提升工具矩阵，并量产了多款软硬件产品。在硬件端，其集成电路量检测设备涵盖了应用于前道工艺的四款电子束设备，分别是高能电子束设备（HV-SEM）、电子束缺陷复检设备（DR-SEM）、电子束缺陷检测设备（EBI）以及电子束关键尺寸量测设备（CDSEM）。在软件端，其制造类EDA产品则以计算光刻软件为核心，旨在通过改良光刻工艺来有效提升晶圆制造的良率水平。