喜讯！国产光刻机交付！

4月16日，由广东微技术工业研究院（简称“广东工研院”）组织的“曝光时刻——3D异构芯片封装技术研讨会”暨国内首台大芯片先进封装专用光刻机交付入厂仪式在广州市增城区广东越海集成技术有限公司（简称“越海集成“）举行。

年初，在广州产投投资牵引下，广东星空科技装备有限公司（简称“星空科技”）落户增城区。本次交付入厂的国内首台大芯片先进封装专用光刻机由星空科技自主研制，可以为Chiplet和2.5D/3D大芯片的集成制造提供光刻加工工艺，为助力国产人工智能大芯片集各种功能芯片之大成提供了有力的技术支撑。

星空科技产品涵盖集成电路装备、泛半导体装备、智能装备等领域，是“超越摩尔”技术的关键组成部分。公司主要产品包括自动芯片键合设备、自动晶圆键合设备、纳米压印曝光设备、光学检测设备、超大芯片专用光刻机等高端智能装备。
越海集成成立于2022年1月，由兴橙资本、传感器集团联合中国本土经验最丰富的TSV晶圆级先进封装团队主要发起设立控股，并由广东省、广州市、增城区三级国资参股。其自研技术提供封装服务的多款封装产品已获多家客户认可，已应用在终端的客户包括多家国内汽车、手机等知名企业。
广东工研院是一家新型研发机构，聚焦半导体的底层和共性技术，专注于MEMS特色工艺，55-28纳米成熟逻辑芯片工艺以及3D先进封装工艺的研究开发，是粤港澳大湾区半导体产业发展的又一支生力军。2023年，广州产投联合增城区、增芯科技启动建设广东工研院中试线项目，有效填补了广东省12英寸特色工艺高端研发中试线空白。
近年来，广州产投聚焦半导体与集成电路产业，2023年累计投资项目11个，合计出资近40亿元，推动广州形成“四座晶圆厂+两座封测厂+一所设计院”的产业新格局。

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