全球三大光刻机出货情况一览

据钜亨网报道，ASML近日发布2022 年度财报。报告显示，ASML 在2022 年销售额达到212 亿欧元，与2021 年相比增长了13.8%，和同样是光刻机大厂的Nikon、Canon相比，其独霸全球的地位依然稳固。

全球光刻机出货情况

据科技网站《半导体行业观察》整理，2022 年，全球前三大ASML、Nikon、Canon 的积体电路用光刻机出货超过500 台，达到551台，较2021年的478台增加73台，涨幅为15%。

从EUV、ArFi、ArF 三个高端机型的出货来看，2022 年共出货157台，较2021年的152 台增长3%+。其中ASML 出货149台，较2021 年增加4 台，占有95% 的市场；Nikon 出货8 台，占有5% 的市场。双方的市占率维持平衡。

EUV方面还是ASML 独占鳌头，市占率100%；ArFi 方面ASML 市占率高达95%+；ArF 方面ASML 占有87%+ 的市场份额；KrF 方面ASML 也是占据72%+ 的市场份额；

2022 年各季度出货量分别为95台、139台、144台、173台，相较2021年各季度，只有第一季出货量有所下降，其他三个季度有所增长，且第三季、第四季连续创下出货量的新高。

ASML 遥遥领先

2022 年ASML 共出货345 台光刻机，较2021 年309 年增加36 台，增长12%。其中EUV 光刻机出货40 台，较2021 年减少2 台；ArFi 光刻机出货81 台，和2021 持平；ArF 光刻机出货28 台，较2021 年增加6 台；KrF 光刻机出货151 台，较2021 年增加20 台；i-line 光刻机出货45 台，和2021 年增加12 台。

2022 年ASML 的EUV 光刻机营收占光刻机整体收入的44%，2022 年单台EUV 平均售价超过1.7 亿欧元(约11 亿元)，较2021 年单台平均售价增长15%。这主要是由于2022 年公司主要是销售TWINSCAN NXE: 3600D，相较TWINSCAN NXE: 3400C 价格更高。

从2011年出售第一台EUV 机台以来，截止2022 年第四季出货达183 台。2022 年EUV 光刻机共加工晶圆超过4000 万片。

ASML 日前在2022 年度财报中表示，2030 年之后，将有望实现NA 高于0.7(Hyper-NA) 的EUV 光刻机，但一切都取决于成本。

ASML 正在继续努力控制当前0.33 NAEUV 以及High-NA 和Hyper-NA 的成本，以确保微缩的需求仍然强劲。

Canon 预计产能提升两倍

2022 年，Canon光刻机营收约为20 亿美元。

2022 年，Canon 的半导体用光刻机还是i-line、KrF 两类机台出货，光刻机出货量达176 台，较2021 年出货增加36 台，增幅25%；其中i-line 机台是出货的主力，出货125 台。佳能表示，得益于半导体光刻机在电力及感测器等广阔领域的应用持续坚挺，生产能力得到最大限度的提升，因此销售台数同比实现上涨。

2022 年，Canon 面板（FPD）用光刻机出货51 台，较2021 年出货量减少16 台。

Canon 表示2023 年要新建光刻机工厂，产能要提升两倍；同时押注NIL 技术，尽快实现5nm 精度。

Nikon 出货减少

2022年度，Nikon 光刻机业务营收约15 亿美元。

2022 年度，Nikon 积体电路用光刻机出货30 台，较2021 年减少5 台。其中ArFi 光刻机出货4 台，和2021 年持平；ArF 光刻机出货4 台，较2021 年度增加1 台；KrF 光刻机出货7 台，较2021 年度增加2 台；i-line 光刻机出货15 台，较2021 年度减少8 台。

2022 年度，Nikon 全新机台出货14 台，翻新机台出货16 台。

2022 年，Nikon 面板（FPD）用光刻机出货28 台，较2021 年大减40%。其中10.5 代线用光刻机出货5 台。

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