DUV与EUV太难抢 坏景气也吹不缓设备交付

即便半导体产业景气下行，ASML仍少有客户提出要延后交货EUV或DUV机台。法新社

进入半导体景气下行周期后，业者多传出产能利用率下滑、资本支出下修，乃至于类似存储器厂商减产等动作，不一而足，而制造业者资本支出的最大宗之一，就在于设备采购，眼见景气不好、设备业者日子也难过，原是意料中事。

但从ASML法说会高层与法人之间的讨论，透露其客户们的因应之道，可观察到即便大风吹游戏，要吹设备延后交货的客户？恐怕面临DUV机台与EUV机台太难抢之故，也没有客户愿意离开已经卡位多时的位置。

ASMLCEO Peter Wennink表示，可以观察到主要客户们多认为2023下半年可望重回成长、复苏启动，而在需求低迷、终端市场库存调整之际，晶圆厂客户们优先选择调整曝光机台稼动率，目前水准偏低，这也影响到ASML旗下维修升级服务业务的动能。

以往客户们在一套全新机台也难求之际，通常会诉诸ASML升级服务，希望在既有设备上，尽可能透过升级更新，达到增加额外的晶圆吞吐量。

如今，晶圆厂产能利用率难再维持90%以上的高档水准，而DUV或EUV曝光机台也降低稼动率，达到类似减产的手段。不过，ASML观察到，尽管客户少再提出升级更新的服务需求，但也少有提出要延后交货EUV或DUV机台。

事实上，ASML也暗示，监于积压订单实在太多，公司也提供客户延后交货的重新协商机会，只不过，假使客户指定的延后交货日期落在交货满档期间，恐怕客户还得重新排队卡位，才能取得新的机台交货日期，也因此，目前客户仍以降低既有设备稼动率，至于延后交货取得全新DUV或EUV机台，仍不做优先考量。

责任编辑：陈至娴