芯碁微“晶圆级芯片扇出封装方法”专利获批
来源:ictimes 发布时间:2024-05-13 分享至微信
合肥芯碁微电突破性地获得了一项名为“晶圆级芯片扇出封装方法”的专利,这一专利号为CN113097080B,发布日期是2024年5月7日,而其申请则是在2021年3月23日提交的。这项专利揭示了一种独特的晶圆级芯片扇出封装法,通过该方法,可以在裸芯片位置发生偏移时仍能保持精确对接,从而大幅提升芯片封装的良率。
该封装方法的主要步骤包括几个关键的阶段。首先,制作芯片单元,其中包括裸芯片及重布线层。接着,利用激光直写光刻设备获取裸芯片的实际位置信息,并根据这些信息调整数字掩模版的原始布线图。最后,根据调整后的布线图对重布线层进行曝光处理,并在处理后的布线图上注入金属以形成重布线线路,从而实现裸芯片与外部焊盘的连接或裸芯片间的互联。
这一专利的取得对于合肥芯碁微电而言是一项巨大的成就。它不仅证明了该公司在封装技术领域的技术实力,还为其在市场上的竞争力增添了新的优势。这项创新的封装方法有望为芯片封装行业带来重大的变革,并为智能设备的发展提供更可靠、更高效的解决方案。
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