华海清科首台板级抛光设备获订单

据官方信息显示，2026年6月9日，华海清科股份有限公司宣布其研发的全自动板级化学机械抛光量产设备获得先进封装领域客户订单。该设备型号为Master-P510APEX，是国内首台510乘515毫米尺寸的同类装备，后续将进入客户产线开展量产应用。

针对板级封装的工艺要求，这款设备具备多项技术特性。在工艺性能方面，该设备可满足低缺陷抛光需求，并保证全板面的平坦化精度与均匀性。在自动化方面，设备内置智能终点检测系统，支持多重检测模式及灵活的工艺切换，能够实现全自动稳定运转。此外，该装备的设计目标即为满足先进封装客户对高良率及高一致性的规模化生产需求。

华海清科方面表示，此次设备获得订单是其深化装备与服务平台化战略的节点，表明其化学机械抛光核心技术已从晶圆级应用拓展至板级封装领域。目前，该公司已建立包含化学机械抛光、减薄、离子注入、划切及湿法等环节的多元化产品体系。首台板级抛光设备量产订单的落地，将有助于完善板级制造装备产业链。