格科半导体成功引入ASML先进ArF光刻机
来源:半导体器件应用网发布时间:2022-03-29684浏览
询问 AI日前,格科微电子微信公众号发布消息称,目前,格科微有限公司“12英寸CIS集成电路特色工艺研发与产业化项目”推进迅速。厂房和洁净车间建设已经基本完成,并于2022年2月16日开始主设备的搬入安装。在3月24日,格科半导体再次迎来了建厂重要标志性时刻,整套生产线中的最关键设备——ASML先进ArF光刻机成功搬入。

2022年3月24日上午10:18,在严格遵守防疫政策并做好疫情防控措施的情况下,格科微顺利举办ASML先进ArF光刻机搬入仪式。格科半导体SVP李朝勇、各部门总监、光刻团队及厂务团队出席仪式,共同见证了公司这一里程碑式的重要时刻。
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