松瓷机电突破8英寸碳化硅单晶炉技术
来源:林慧宇 发布时间:23 小时前 分享至微信

在全球碳化硅产业蓬勃发展的背景下,国内企业在8英寸碳化硅单晶炉领域取得了显著进展。近日,松瓷机电成功“长出”8英寸碳化硅单晶晶体,标志着其在该领域迈出了重要一步。


松瓷机电作为光伏大厂奥特维的控股子公司,专注于光伏及半导体行业晶体生长专用设备的研发、制造与销售。其产品线涵盖1400单晶炉、1600单晶炉、低氧型单晶炉及单晶车间智能化解决方案等。凭借3万多平米的生产基地以及光伏和半导体研发实验室,松瓷机电具备了大尺寸N型晶圆与重掺杂拉晶工艺的研发试制能力,以及第三代半导体材料设备的开发与试验条件。


此次成功研发8英寸碳化硅单晶炉,不仅为松瓷机电在碳化硅产业中赢得了一席之地,也进一步推动了国内8英寸碳化硅长晶设备的国产化进程。碳化硅长晶炉作为衬底生长的核心工艺设备,其技术进步对整个行业的发展具有决定性影响。碳化硅晶体生长过程面临生长速度慢、参数控制要求高等技术挑战,而精确控制温度、压力和气体成分等参数是生长高质量晶体的关键。


在8英寸碳化硅长晶设备领域,国内企业成果颇丰。2024年以来,连科半导体、优晶科技、晶升股份等厂商相继推出了各自的8英寸碳化硅长晶炉产品,并在不同方面取得了突破。然而,尽管国产设备逐渐进入市场,与国外先进水平相比仍有一定差距,且衬底厂商通常不会轻易改变长晶炉的购买渠道,这使得长晶炉市场具有一定的稳定性,新玩家较难在短期内形成批量订单。

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