国内微影设备进步显著,但与ASML仍有差距
来源:ictimes 发布时间:2024-09-25 分享至微信

工信部近期推出的新半导体制造设备中,两款微影设备备受瞩目,标志着本土技术取得新进展。然而,业界普遍认为,这些设备的技术水平尚未赶上国际巨头ASML。


据工信部披露,新设备包括使用KrF和ArF光源的曝光机,分别支持110纳米和65纳米的生产分辨率。然而,关键的对位精度数据未明,引发分析师担忧其可能无法胜任高端芯片生产。


美方出口限制政策进一步加剧了这一挑战,特别是DCO标准的引入,限制了高精度设备的对华出口。ASML的高端设备虽因限制无法直供国内,但其全球销售依然强劲,凸显了技术领先地位。


荷兰政府则积极游说,希望为ASML争取更多中国市场空间。尽管如此,国内厂商仍需努力提升技术,以缩小与国际先进水平的差距。微影设备如同工具,而真正决定芯片品质的是使用者的技术实力。


[ 新闻来源:ictimes,更多精彩资讯请下载icspec App。如对本稿件有异议,请联系微信客服specltkj]
存入云盘 收藏
举报
全部评论

暂无评论哦,快来评论一下吧!