合盛新材料传来好消息,项目全线贯通
来源:ictimes 发布时间:2024-09-11 分享至微信
合盛硅业旗下的宁波合盛新材料有限公司(合盛新材料)近日传来振奋人心的消息,其精心研发的8英寸导电型4H-SiC衬底项目已全面竣工并顺利实现全线贯通。
合盛新材料此次推出的8英寸导电型4H-SiC衬底,在性能上实现了质的飞跃。通过精细的工艺调控和技术革新,该衬底在微管密度、晶体完整度、电阻率稳定性等多个关键指标上均达到了行业领先水平。微管密度的显著降低至0.05/cm²以下,确保了衬底的高纯度与卓越品质;而4H晶型面积比例的完美达成,则体现了晶体结构的完美无缺与高度稳定性。此外,电阻率的精准控制,进一步证明了该材料在导电性能上的卓越表现。
在外延工艺的实际应用中,合盛新材料8英寸衬底的表现同样令人瞩目。基于该衬底生产的外延片,在膜厚均匀性、掺杂均匀性等方面均展现出超越行业平均水平的性能,致命缺陷密度更是低至0.3颗/cm²以下,可用面积高达99%以上。这一系列优异的数据,不仅验证了合盛新材料在半导体材料研发方面的深厚功底,更为其赢得了市场的广泛认可与高度评价。
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