三星电子测试新型GCB设备,有望革新EUV光刻技术
来源:ictimes 发布时间:2024-09-04 分享至微信
三星电子正在测试东京电子(TEL)的新型气体团簇束(GCB)设备“Acrevia”,以期改善极紫外(EUV)光刻图案化工艺。这一测试可能对由应用材料公司主导的先进EUV光刻技术市场格局产生重大影响。
Acrevia设备利用离子束对晶圆的局部区域进行整形,以改善EUV工艺中的图案粗糙度(LER)和图案缺陷。该技术有望缩短生产流程并提升图案质量,通过照射离子束进行图案成形,减少EUV多重图案化的需求,同时消除EUV图案化过程中的随机误差。
业界预测,应用TEL的新设备能够提高生产利润率。TEL的高管表示,客户正在对设备进行测试,预计将首先应用于代工工艺而非存储器工艺。随着TEL新设备的积极评价,EUV图案改进设备市场可能会发生变化,挑战应用材料公司的市场领导地位。
三星和SK海力士已在1a和1b nm技术节点引入EUV设备,并计划在今年推出1c nm DRAM,进一步增加EUV技术的使用。与此同时,美光将在1γ nm节点首次引入EUV技术,并计划于2025年量产。这些进展表明,EUV技术在半导体制造中的重要性日益增加,而TEL的新型GCB设备可能成为推动该领域创新的关键因素。
[ 新闻来源:ictimes,更多精彩资讯请下载icspec App。如对本稿件有异议,请联系微信客服specltkj]
存入云盘 收藏
举报
全部评论
暂无评论哦,快来评论一下吧!
ictimes
聚焦于半导体行业芯闻
查看更多
相关文章
三星测试TEL新GCB设备,EUV图形化或迎变革
2024-09-06
三星电子加速布局高数值孔径EUV技术
2024-08-16
三星加速追赶EUV技术,计划引进High-NA设备
2024-08-15
三星或缩减ASML EUV设备采购,合作前景生变
2024-08-20
三星、Sensry、Melexis革新传感器技术
2024-07-22
热门搜索