冲绳科学技术大学院大学的教授新竹积最新开发的极紫外光（EUV）微影技术，通过优化光学投射系统，实现了成本降低和设备可靠性及使用寿命的显著提升。
该技术采用两个反射镜，简化了结构，降低了能量衰减，同时将EUV光源的电力需求降至20W，系统总功耗控制在100kW以下，仅为传统技术的十分之一。
尽管这一技术的功耗降低和光学效能得到了OpTaliX软件的验证，有望用于半导体生产，但对当前EUV技术市场主导者ASML的威胁相对有限。
首先，镜头只是EUV系统的一部分，竞争对手需要开发整个系统的复杂子系统才能构成真正的竞争。其次，技术的商业化成本巨大，佳能和尼康等潜在竞争者可能缺乏必要的资源，特别是考虑到从研发到商业收入之间的长期投入。
此外，大学研究到实际商业应用的转化通常需要多年时间，而ASML若认识到这项技术的潜力，也可能会开发类似技术以维持市场地位。
目前，该技术已申请专利，并计划与产业界合作实现商业化，但其对ASML造成的实质性影响仍有待观察。尽管如此，这项技术的进步仍对半导体产业具有积极意义，可能促进环保和成本效益的提升。
