科林研发Lam Cryo 3.0低温蚀刻技术,引领3D NAND效能新飞跃
来源:ictimes 发布时间:2024-08-09 分享至微信

科林研发推出Lam Cryo 3.0技术,专为高性能3D NAND存储器打造。该技术采用超低温高功率封闭电浆反应器,实现埃米级高精度蚀刻,速度倍增且能耗大幅降低40%,碳排减少90%。Lam Cryo 3.0已成功应用于500万片晶圆制造,证明其规模化能力。


该技术能创造出深度远超宽度的精细纹路,显著提升3D NAND效能,对实现未来千层3D NAND目标至关重要。Lam Cryo 3.0与现有FLEX系列HAR介电质蚀刻机兼容,迅速获得市场认可。


尽管科林研发近期营收有所下滑,但其毛利率稳定在47.19%,显示强大的成本控制与定价能力。分析师对其前景持乐观态度,认为科林研发有能力克服挑战,持续创新。

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