低温蚀刻技术竞赛升温,TEL与Lam Research竞相布局
来源:ictimes 发布时间:1 天前 分享至微信
TEL与Lam Research竞相推出低温蚀刻新技术,以抢占3D NAND通孔蚀刻市场。
TEL预计其低温蚀刻设备将于2026年贡献营收,该设备能形成400层以上记忆通孔,受到铠侠、SK海力士等厂商关注。三星电子也考虑在570层3D NAND生产中采用该技术。
与此同时,Lam Research发布了第三代低温绝缘膜蚀刻技术Lam Cryo 3.0,声称支持1000层NAND研发,加工速度提升2.5倍,能耗降低40%。该技术已获客户评估,并具备量产实绩。
随着两家巨头相继发力,NAND厂商在设备选择上陷入抉择。TEL社长对自家技术充满信心,强调其环保优势,不使用有害气体,符合净零排放趋势。低温蚀刻技术竞赛正酣,市场格局或将因此改写。
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