ASML最先进EUV要价恐高达230亿
来源:ictimes 发布时间:4 天前
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荷商艾司摩尔(ASML)是半导体设备巨头,该公司针对1奈米以下制程,计划在2030年推出Hyper-NA极紫外光机(EUV),韩媒撰文指出,ASML设备成本高昂,可能让台积电、三星与英特尔却步。
根据朝鲜日报报导,ASML昂贵的设备价格,对客户来说是庞大负担,ASML一般常规EUV机器每台约1.81亿美元,新一代的high-NA EUV售价倍增至3.62亿美元,预期Hyper-NA EUV售价可能超过7.24亿美元(折合约237亿台币)。
半导体产业相关人士表示,台积电过去比三星更晚引进EUV设备,台积电透过利用现有设备升级多图案化,减轻引进新设备带来的投资负担。事实上,台积电已多次表示下一代EUV设备太贵,该公司业务开发资深副总经理暨副共同营运长张晓强表示,A16先进制程节点并不一定需要EUV。
率先采用high-NA EUV的晶圆厂英特尔,因购买新一代设备造成庞大成本负担,去年公司代工业务亏损70亿美元,今年第1季也面临创纪录的营运亏损。
ASML则说,Hyper-NA是未来埃米级(angstrom)制程的必要设备,许多公司将采用Hyper-NA EUV,以降低多重图形化制程的风险。
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