ASML:EUV光刻机可远程遥控关闭
来源:ictimes 发布时间:2024-05-22 分享至微信
近日,全球领先的半导体设备制造商ASML宣布,其具备远程关闭旗下光刻机的能力,包括最尖端的极紫外光刻机(EUV)。这一消息迅速引发了业界和网友的广泛关注。
据了解,ASML的EUV光刻机需要频繁维护,若缺乏该公司提供的备件,这些设备将很快失去运作能力。此外,EUV光刻机的维护要求极高,需在无尘室内进行,工程师还需穿着特殊服装以防止污染。
值得注意的是,ASML为部分客户提供联合服务合同,允许其进行日常维护工作,但客户无法访问设备内的专有数据。这一安排旨在确保设备稳定运行,同时保护ASML的技术知识产权。
业内人士分析,ASML的远程关闭功能类似于设备内置的“终止开关”,有助于确保设备在特定情况下得到及时控制。考虑到EUV光刻机每台售价超过2亿欧元,这一功能对保障设备安全和稳定具有重要意义。同时,这也体现了ASML对技术保护的重视,以防止设备被非法使用或窃取。
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