为确保制程关键材料稳定供应，台积电 (2330-TW) 除推动光阻供应商来台设厂达成在地化生产外，也积极强化本土供应商的技术研发能力，成功建立微影制程材料本土供应链产线，年产值超过新台币 15 亿元。

台积电在不影响原有制程品质与保护机密资讯的原则下，以七大环节辅导供应商开发品质符合台积电标准的微影制程材料，成功建立本土供应链生产线，不仅年产值超过新台币 15 亿元，材料运输效率更提升 75%。

微影制程在半导体制造过程至关重要，是确保晶片品质与稳定性的核心技术之一，因其材料研发及生产技术门槛高，过往主要仰赖进口供料。

为提升本土供应链研发实力与生产效率，台积电资材供应链管理处 2019 年携手奈米制像技术发展处，展开「供应商原物料技术辅导计划」，针对微影制程材料的「技术开发、品保分析、数据校正、样品验证、厂务配置、桶槽改善、扩产规画」七大环节提供专业指导，不仅有效缩短供应商 50% 产线建置与产品验证时间，其材料品质更优于台积公司制程标准、进一步提升良率，全方位强化供应商竞争力。

辅导供应商精进原物料制程与品质是台积电永续供应链管理的长期目标之一，除微影制程外，台积电也将针对不同制程持续强化本土供应链的研发与制造实力，透过共同开发多元货源及环保的新材料，降低营运中断风险并友善环境，落实产业共好。