ASML光刻机遇产能瓶颈，蔡司扩建德国厂房破局

据Tom's Hardware报道，全球仅有德国奥伯科亨（Oberkochen）和韦茨拉尔（Wetzlar）两地具备生产ASML光刻机核心光学镜筒的能力。荷兰ASML在其最新发布的年度报告中坦言，公司光刻设备的产量正受制于其唯一光学元件供应商——卡尔蔡司半导体制造技术公司（Carl Zeiss SMT）的产能上限。

为了突破这一限制，蔡司方面确认正于德国南部的奥伯科亨地区新增约2.5万平方米的生产及相关设施。目前，首栋建筑已在今年7月迎来员工入驻，后续厂房也将陆续分批交付使用。ASML在报告中强调，如果蔡司不能保持长期的稳定生产，其自身业务将难以为继。数据显示，2025年ASML向蔡司的采购总额高达44.1亿欧元（约人民币340.23亿元），折合约50.3亿美元（约人民币340.92亿元）。此外，ASML还向蔡司提供了超19亿欧元（约人民币146.59亿元）的贷款以及近12亿欧元（约人民币92.58亿元）的预付款，以全力支援其扩建工程。

在产能规划方面，ASML计划到2027年把低数值孔径（low-NA）极紫外（EUV）光刻机的产能提高30%左右，并正在论证2028年再增产30%的可行性，同时力求将设备的生产周期由22周缩减至15到16周。

不过，新一代高数值孔径（high-NA）光学系统的结构极其繁杂，单台设备包含超4万个零部件，总重量达12吨，其反射镜更是需要耗费数月时间进行精密加工。虽然英特尔已在7月份率先使用0.55NA设备量产出货逻辑芯片，但仅仅依靠扩大厂房面积，依然难以有效缩短此类精密部件的加工及验证周期。

注：按1欧元≈7.72人民币、1美元≈6.78人民币计算。