尹志尧、张汝京同台：国产设备从零起步到切入先进制程

近日，中微公司董事长尹志尧与中芯国际创始人张汝京罕见同台，分享了国产设备从零起步到切入先进制程供应链的历程。

据尹志尧回忆，2004年他决定回国创业时，半导体设备市场几乎被美国和日本企业垄断，国产设备产业基础薄弱。他要求团队成员不得携带任何海外技术文件与旧电脑，几乎从零开始建立研发体系。尹志尧在美国硅谷深耕20年，积累了数百项专利，但他并不打算复制既有技术，而是希望开辟新的技术路线。

中微早期开发的“超高频去耦合反应离子蚀刻技术”成为全球主流CCP蚀刻设备的方向之一，这表明国内设备厂商已具备部分技术定义能力。据公开数据，中微成立约3年后推出首台本土蚀刻设备，目前产品已打入5纳米、3纳米等先进制程供应链。

张汝京提到，半导体制造对稳定性的要求极高，过去全球晶圆厂普遍对新创设备商态度保守。中芯国际毅然成为支持中微设备的首批验证客户。张汝京透露，当年尹志尧尚未决定回国创业时曾询问他是否支持，他明确表示一定会支持。中芯国际采用小批量逐步测试模式，从5片、25片开始，逐步扩大至50片、100片，以降低制程风险。

尹志尧指出，国产半导体设备推进过程中，除了技术本身，市场对本土设备的既定印象也是一大挑战。许多国内客户认为海外设备导入产线后问题较少，而国产设备则需要较长时间调校。尹志尧以自己在美国半导体产业20年的经验指出，即便是国际龙头设备商的新设备，在首次导入台积电或三星晶圆厂时，也通常需要2~3年的持续调整与共同改善。

尹志尧强调，国内晶圆厂与客户应给予本土设备更多测试与导入机会，通过实际产线验证加速设备成熟。这种“设备厂＋晶圆厂共同迭代”模式，被视为半导体推进供应链自主化的重要方式。目前，中芯国际已有至少800台设备来自中微。

尹志尧还透露，中微已不只聚焦半导体蚀刻设备，近年更开始切入大型面板设备领域。