中天晶科实现12英寸碳化硅单晶技术突破
来源:林慧宇发布时间:2026-05-11861浏览
询问 AI据官方消息,中天晶科在5月10日宣布,继成功制备8英寸碳化硅晶体后,公司已进一步攻克12英寸碳化硅单晶生长技术的难关。
从技术演进路径来看,中天晶科在2022年10月成功研制出首块8英寸碳化硅晶体,随后于2025年3月实现了首块12英寸碳化硅晶体的制备。然而,从晶体尺寸增大的过程中,晶体内部的应力控制和缺陷管理难度也随之显著提升,这成为行业公认的瓶颈问题。中天晶科研发团队通过多轮技术攻关,逐步解决了大尺寸晶体生长中的关键难题。
值得注意的是,从2025年3月首块12英寸晶体的成功制备,到2026年5月正式对外公布,中天晶科花费了约14个月时间进行技术验证与优化。在此期间,公司专注于工艺稳定性和可重复性的验证,最终确认技术成熟。此次突破主要依赖于公司自主设计制造的长晶设备,以及不断迭代的工艺技术体系。通过设备与工艺的深度协同,中天晶科为大尺寸碳化硅晶体的稳定生长提供了坚实保障。
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