中电科48所交付20台SiC外延设备
来源:LED网发布时间:2023-10-112474浏览
询问 AI10月9日，中国电科第四十八研究所（下文简称“中电科48所”）官方公众号发文称，在连续数月实现月产20台套产能验证后，制造部汲取批产经验，及时调整装调节奏、优化生产管理，顺利完成20台套SiC外延设备的产出及发货。
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据早先消息，在6英寸SiC外延机型方面，中电科48所收获了国内第三代半导体装备行业的第一大订单。该所研发的芯片制造关键装备SiC高温离子注入机已实现100%国产化，稳居国内市场占有率第一。
今年6月，2023上海国际半导体展览会上，中电科48所携自主研发用于生产SiC外延片的国产8英寸SiC外延设备亮相，标志着国产第三代半导体专用核心装备迈进“8英寸时代”。
（文：化合物半导体市场Morty整理）
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