中国电科旗下电科装备已实现国产离子注入机28纳米工艺制程全覆盖

来源:国际电子商情发布时间:2023-07-11569浏览

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当前，28纳米是芯片应用领域中覆盖面最广的成熟制程。据介绍，电科装备连续突破光路、控制、软件等关键模块的核心技术，形成中束流、大束流、高能及第三代半导体等全系列离子注入机产品格局，实现了28纳米工艺制程全覆盖，切实保障国产芯片生产制造。

7月3日，中国电子科技集团有限公司(简称中国电科)官网刊文指出，中国电科连续突破光路、控制、软件等关键模块的核心技术，实现国产离子注入机28纳米工艺制程全覆盖重大科技成果，有力保障中国集成电路制造行业在成熟制程领域的产业安全。研发人员正在调试离子注入机(图片来自中国电科官网)离子注入机是芯片制造中的关键装备。在芯片制造过程中，需要掺入不同种类的元素按预定方式改变材料的电性能，这些元素以带电离子的形式被加速至预定能量并注入至特定半导体材料中，离子注入机就是执行这一掺杂工艺的芯片制造设备。当前，28纳米是芯片应用领域中覆盖面最广的成熟制程。据介绍，电科装备连续突破光路、控制、软件等关键模块的核心技术，形成中束流、大束流、高能及第三代半导体等全系列离子注入机产品格局，实现了28纳米工艺制程全覆盖，切实保障国产芯片生产制造。据了解，作为国内最早从事离子注入设备研制及产业化的企业，电科装备已具备从产品设计到量产应用的完整研制体系，产品涵盖逻辑器件、存储器件、功率器件、传感器等工艺器件，百台设备广泛应用于国内各大集成电路先进产线，累计流片2000万片，有力提升中国产业链供应链韧性和安全水平。

大束流离子注入机成功入选《推荐目录(2022年版)》

此前于今年5月，电科装备官网刊文指出，电科装备北京烁科中科信公司大束流离子注入机作为高端装备成功入选《中央企业科技创新成果推荐目录(2022年版)》(以下简称《推荐目录》)。本次推荐目录共涉及核心电子元器件、关键零部件、分析测试仪器、基础软件、关键材料、先进工艺、高端装备七个领域。

大束流离子注入机作为全系列离子注入机中的拳头产品之一，北京烁科中科信以创新赋能其产业化进程，用技术迭代提升其产品性能，全面保障了设备在产线的运行状态，展现了更高水平的产能，切实维护了集成电路领域供应链的安全。目前，低能大束流离子注入机8寸产线已实现了工艺全覆盖及批量跑货，累计跑货量超500,000片，12寸产线28nm及以上工艺实现全覆盖，应用于先进制程的高温注入机已完成整机设计及组装，现已实现在高温600℃以上时，设备仍能均匀吸附晶圆，且能够保障高效稳定传输。

1月即交付今年第3台离子注入机

今年1月6日，中国电科官方头条号发文称，满载设备的运输车整装待发，又一台离子注入机设备驶向客户现场，这是电科装备今年交付的第三台离子注入机。