光刻机巨头拟推中国特供版光刻机？ASML火速回应：并无此事

来源：格隆汇

7月6日消息，市场突然传来一则大消息，荷兰半导体设备制造商ASML阿斯麦或推出中国特供版DUV光刻机。

不过紧随其后，ASML便火速回应称：一直以来都遵守所适用的法律条例，公司并没有面向中国市场推出特别版的光刻机。

ASML否认推出中国特供版DUV光刻机

此前，根据电子时报报道，ASML试图规避荷兰新销售许可禁令，面向中国市场推出特别版DUV光刻机。

消息称，ASML正在考虑发布其深紫外光刻（DUV）工具的特殊版本，该工具将符合最新的美国出口规则，并且可以在没有许可证的情况下运送给中国客户。

如果该项目继续推进，中芯国际、华虹等中国半导体企业可以继续使用荷兰的设备生产28纳米及更成熟工艺的芯片。

据悉，这款特别版DUV光刻机是基于ASML的Twinscan NXT: 1980Di光刻系统进行改造的。

而Twinscan NXT: 1980Di光刻系统是ASML在10年前推出的一款旧型号，因此不在此次荷兰官方禁令的限制范围内。

Twinscan NXT: 1980Di光刻系统是ASML目前效率相对较低的光刻机型之一，它支持NA 1.35光学器件，分辨率可达到小于38纳米，这对于7nm级甚至更高级的节点来说已经足够了。事实上，这款机器最初于2016年发布，台积电曾使用它来开发其7nm级工艺技术。

目前大多数晶圆厂使用1980Di光刻机主要生产14纳米及更高工艺的芯片，而很少使用它来生产7纳米芯片。

报道表示，尽管ASML的特别版DUV光刻机是基于旧型号改造，但此次行动也将被视为一种规避荷兰新销售许可禁令的尝试。

不过就在传闻迅速发酵之际，ASML针对传闻火速回应表示：一直以来 ASML 都遵守所适用的法律条例，公司并没有面向中国市场推出特别版的光刻机。

荷兰出口管制新规

6月30 日，荷兰政府正式颁布了有关半导体设备出口管制的新条例，其要求先进芯片制造设备的公司在出口之前须获得许可证，这些规定将于9月1日生效。

正如3月初宣布的那样，新的出口管制侧重于先进的芯片制造技术，包括最先进的沉积和浸没式光刻系统。

在荷兰新规出台之后，ASML曾回应表示，根据新出口管制条例规定，ASML需要向荷兰政府申请出口许可证才能发运最先进的浸润式DUV系统（即TWINSCAN NXT：2000i及后续推出的浸润式光刻系统）。

荷兰政府将决定是否授予或拒发出口许可证，并将向ASML提供许可证所附条件的细节。

ASML在声明中重点指出，荷兰政府新颁布的出口管制条例只涉及TWINSCAN NXT：2000i及后续推出的浸润式光刻系统（DUV，深紫外光刻）。

而该公司的EUV光刻（极紫外光刻）系统在此前已经受到限制，其他系统的发运暂未受荷兰政府管控。

“ASML将继续遵守适用的出口管制条例，其中包括荷兰、欧盟及美国的出口管制条例。”

据ASML财报显示，2022年该公司共出货345台光刻系统，其中有81台浸润式DUV光刻机（ArFi），占比为23%。所有产品中，42%销往中国台湾，29%销往韩国，14%销往中国大陆，7%销往美国。

季度全球半导体装备行业市场分析报告（大纲）

一、全球半导体装备企业市场规模分析（Top10）

二、中国大陆半导体装备行业市场投资情况分析

1. 中国大陆半导体装备行业季度投资规模分析

2. 中国大陆半导体装备行业季度投资区域分析

3. 中国大陆半导体装备行业季度投资分布分析

三、全球半导体装备行业新技术发展洞察

1.全球半导体装备行业细分领域新技术趋势洞察

2. 中国大陆半导体装备行业细分领域技术发展洞察

四、全球半导体行业装备产业最新动态

媒体关系：

市场部经理Cherry Zeng

TEL：（+86）186-2523-4072

Email：CherryZeng@cinno.com.cn

商务合作：

市场部总监 AnnBao

TEL：（+86）189-6479-8590

Email：AnnBao@cinno.com.cn

产业咨询：

销售部副总 Venia Yang

TEL：（+86）137-7184-0168

Email：VeniaYang@cinno.com.cn

扫码请备注：姓名+公司+职位

我是CINNO最强小编, 恭候您多时啦！

CINNO于2012年底创立于上海，是致力于推动国内电子信息与科技产业发展的国内独立第三方专业产业咨询服务平台。公司创办十年来，始终围绕泛半导体产业链，在多维度为企业、政府、投资者提供权威而专业的咨询服务，包括但不限于产业资讯、市场咨询、尽职调查、项目可研、管理咨询、投融资等方面，覆盖企业成长周期各阶段核心利益诉求点，在显示、半导体、消费电子、智能制造及关键零组件等细分领域，积累了数百家大陆、台湾、日本、韩国、欧美等高科技核心优质企业客户。