【一周招/中标】北方华创新增中标设备1台，芯源微新增中标设备1台，润鹏新增设备招标7台

集微网消息，本周，芯未半导体新增设备招标10台，润鹏半导体新增设备招标7台，深圳电子材料院新增设备招标3台，西安奕斯伟新增设备招标2台，上海积塔新增设备招标1台；北方华创新增中标设备1台，芯源微新增中标设备1台，KLA新增中标设备5台。

重要招标数据：

本周招标29台设备，其中，刻蚀设备1台，工艺检测6台，清洗设备4台，其他设备18台。

重要中标数据：

本周中标51台设备，其中，刻蚀设备1台，工艺检测6台，清洗设备2台，其他设备42台。

本周重点企业动态：

近日，华虹半导体有限公司科创板IPO成功过会；润鹏半导体12英寸集成电路生产线项目FAB主厂房首块筏板基础顺利浇筑；燕东微在投资者互动平台表示，6英寸SiC SBD产品处于小批量量产；新微半导体基于硅基氮化镓6英寸/150mm晶圆的40V增强型功率器件工艺平台开发完成，正式发布量产；盛美上海在投资者互动平台表示，PECVD设备仍处于验证阶段；北方华创在投资者互动平台表示，ALE设备已实现多项工艺应用；华海清科12英寸超精密晶圆减薄机正式在客户生产线投入量产；中科飞测在上海证券交易所科创板上市；Imec与KLA、通用合作，在美建立无人驾驶汽车研究实验室。

以下是本周部分招标信息汇总：

以下是本周部分中标信息汇总：

（校对/韩秀荣）