【一周招/中标】北方华创新增中标设备1台，应用材料新增中标设备3台，上海积塔新增设备招标142台

集微网消息，本周，上海积塔新增设备招标142台，汇芯通信新增设备招标6台，芯未半导体新增设备招标6台，无锡光子芯片联合研究中心新增设备招标1台；北方华创新增中标设备1台，应用材料新增中标设备3台，Axcelis新增中标设备1台。

重要招标数据：

本周招标158台设备，其中，光刻设备1台，工艺检测3台，清洗设备2台，其他设备152台。

重要中标数据：

本周中标19台设备，其中，刻蚀设备2台，薄膜沉积3台，离子注入1台，其他设备13台。

本周重点企业动态：

近日，积塔半导体与华大九天签订战略合作协议，围绕Foundry EDA工具开发验证、车规级芯片工艺平台研发适配等领域开展全面合作；燕东微在投资者互动平台表示，未从上海微电子购买65nm节点光刻机；北方华创在投资者互动平台表示，经营业绩持续增长，目前生产经营及订单交付均正常；万业企业在投资者互动平台表示，截至2022年三季度末，公司获得集成电路设备在手订单近11亿元；北京烁科中科信碳化硅离子注入机交付。

以下是本周部分招标信息汇总：

以下是本周部分中标信息汇总：

（校对/韩秀荣）