台积电大减萤石用量 以磷肥废料产制氢氟酸

台积电除辅导供应商提前于进料阶段即提供品质保证证明。李建梁摄

因应原物料需求随着产能增加持续成长，为确保制程关键材料「氢氟酸」稳定供应并友善环境，台积电宣布，已携手供应商以磷肥废料替代萤石，在不影响原有制程品质的前提下成功产制氢氟酸。

截至2023年2月，已导入晶圆十二A厂、晶圆十五A厂，减少萤石用量、减碳317公吨，其他12寸晶圆厂区亦同步进行试产，预计全面导入后1年可减碳逾2万公吨，相当于58座大安森林公园1年的二氧化碳吸附量。

台积电表示，氢氟酸是半导体湿式蚀刻制程的重要化学品，一般以萤石为原料，因取得不易且精炼程序繁复，产制过程较难降低碳排放量。

台积电自2021年起与供应商合作投入氢氟酸替代原料可行性研究，利用磷肥产制过程衍生的废料氟矽酸搭配硫酸进行化学反应后产制氢氟酸，且为使品质符合半导体制程标准。

台积电除辅导供应商提前于进料阶段即提供品质保证证明（CoA）外，同时协助其开发独立产线进行测试，经反复调整以达制程最适化，确保后续生产品质无虞。

台积电持积极辅导供应商扩大使用磷肥废料产制氢氟酸，预计2024年底完成第二条独立产线后，可再降低萤石用量，总计减碳逾4万公吨。

除精进原料品质，台积电亦由品质暨可靠性组织持续与各厂合作，进行电子级硫酸及电子级异丙醇内循环再利用、氢氟酸气体废料再制氟气的评估，同时辅导供应商开发相关技术，朝资源永续再生的目标迈进。

责任编辑：朱原弘