芯源微：头顶光刻设备上市“第一股”光环，“内外兼修”借势国产替代实现快速发展

来源：览富财经网

近年来，伴随全球信息化、网络化和知识经济的迅速发展以及半导体下游应用领域的不断拓展，全球集成电路产业蓬勃发展，景气度持续提升，全球半导体销售额保持稳定增长，带动了包括光刻工序涂胶显影设备在内的光刻机配套设备需求量的拉升。

沈阳芯源微电子设备股份有限公司（股票简称：芯源微，股票代码：688037）作为我国半导体光刻设备上市“第一股”，在光刻机市场需求旺盛引起光刻机配套设备产品需求增加的背景下，抓住市场机遇，推动公司快速发展。

市场持续扩容

随着AI芯片、5G芯片、汽车电子、物联网等下游应用领域的兴起，全球半导体行业重回景气周期，下游半导体制造厂商对半导体设备的需求不断增长。根据SEMI预测报告，2021年全球半导体设备销售额达1030亿美元新高，同比增长44.7%。预计2022年全球半导体制造设备市场总额将扩大到1140亿美元。

目前，市场上供应的半导体设备主要是晶圆加工设备，占到了80%的市场份额。根据VLSI提供的行业数据，全球晶圆厂设备销售额由2013年的284.27亿美元增长到2018年的562.99亿美元，年复合增长率达14.64%，预计2023年全球晶圆厂设备销售额将达到609.82亿美元。

据SIA数据显示，2021年全球半导体销售额为5559亿美元，创历史新高，同比增长26.2%。其中，中国市场销售额为1925亿美元，仍是全球最大的半导体市场，同比增长27.1%，增速全球第一。

此外，半导体零部件高度集中在美国、日本企业。美国半导体零部件企业的合计收入占比44%，日本半导体零部件企业合计占比33%，欧洲占比21%。我国半导体零部件高度依赖进口，核心零部件进入投资元年。

芯源微作为国内半导体专用设备研发龙头企业，主营业务覆盖光刻工序涂胶显影设备、单片式湿法设备等，其中涂胶显影设备成功打破国外垄断，取得产业化突破，实现了小批量替代，加快了我国国产替代化进程，目前在国内市场份额约为4%，国产替代空间广阔。

在巩固现有产品竞争优势的基础上，芯源微积极丰富前道涂胶显影、清洗设备产品线，成长空间持续打开。涂胶显影设备基于在后道领域累积的小尺寸技术，公司积极拓展OLED、功率器件、化合物半导体等新应用领域。

专注技术研发

半导体设备行业具有较高的技术壁垒、市场壁垒和客户认知壁垒，随着半导体技术水平的提升，芯片的体积不断缩小，半导体器件的结构逐步复杂，对半导体设备精度和稳定性要求更高。

芯源微成立以来，高度重视新技术、新产品和新工艺的研发工作，公司涂胶显影设备在化合物半导体及后道先进封装领域是国内龙头，在后道持续占据优势的基础上，公司加大研发力度，积极开拓前道晶圆加工领域，凭借核心技术在行业内处于领先地位。截至2021年9月，公司研发投入金额为6，953.21万元，同比增长168.87%。

芯源微建有较为完善的人才培养体系，通过承担国家重大专项及地方重大科研任务、开展专题技术培训等方式培养了半导体设备的设计制造、工艺制程、软件开发与应用等多种学科人才。并积极引进了一批具有丰富的半导体设备行业经验的高端人才，形成了稳定的核心技术人才团队，能紧密跟踪国际先进技术发展趋势，具备较强的持续创新能力。

通过多年的研发和积累，公司已掌握了相关核心技术，拥有多项自主知识产权，具备一定的品牌知名度，占据了一定的市场份额，奠定了一定的市场地位。与境外知名企业相比，芯源微作为国内企业对客户需求的理解更加到位，服务方式更为灵活，产品性价比更高，具有一定的本土优势。

目前，芯源微已经成功掌握包括光刻工艺胶膜均匀涂敷技术、不规则晶圆表面喷涂技术、精细化显影技术、内部微环境精确控制技术、晶圆正反面颗粒清洗技术、化学药品精确供给及回收技术等在内的多种半导体设备产品核心技术。

此外，持续的研发投入使得公司在前道 Track 和前道清洗领域取得技术突破，前道产品在众多大厂产线进行验证。其中前道 Track 设备已经往更高制程研制。前道清洗设备已经达到国际先进水平，成功实现国产替代。在先进封装领域，开发叠层多腔设备，满足更高工艺等级及产能需求。

业绩快速增长

芯源微生产的前道涂胶显影设备通过在客户端的验证与改进，在多个关键技术方面取得突破，技术成果已应用到新产品中。公司持续加大前道研发力度，公司生产的涂胶显影设备与单片式湿法设备，已经从先进封装领域、LED领域拓展到MEMS、化合物、功率器件、特种工艺等领域，不断拓宽市场业务。

2021年，芯源微新签订单较去年同期大幅增长。下游客户覆盖国际知名Fab厂台积电，国内一线大厂包括长电科技、华天科技、中芯宁波等，以及国内特种工艺代表企业，包括厦门士兰集科、中芯绍兴、上海积塔等。

为了公司未来发展，芯源微在布局方面也做了相应的调整。如今上海已成为全球集成电路产业投资最具吸引力的地区之一，2021年，芯源微控股子公司“上海芯源微企业发展有限公司”在上海注册成立。上海子公司的建设，将实现公司“靠近客户”、“靠近人才”、“靠近供应链”初衷。临港已聚集了多家集成电路产业相关企业，各环节企业协同合作、产业集聚的效应正在凸显。

对于未来发展，芯源微也提前做了充分的准备。2021年芯源微通过募投项目重点加码前道涂胶显影，向先进制程产品延伸，此举将彻底打开公司在涂胶显影领域的成长空间。公司已研发出前道Spin Scrubber单片式物理清洗机，成功实现进口替代，未来将加码单片式化学清洗机，使其成为企业第二成长曲线。

芯源微积极发挥自身在市场销售以及客户服务等领域的经营优势，不断加大品牌推广力度，持续提升公司的品牌形象及核心竞争力，实现了公司主营业务的稳健发展。2022年2月22日，公司发布业绩快报，2021年实现收入8.29亿元，同比增长152%，实现净利润0.77亿元，同比增长58%，扣非净利润0.64亿元，同比增长395%。

目前，全球半导体下游需求景气周期后的上游晶圆厂支出上行带动产能扩张周期，叠加本土半导体设备国产替代进程加速，芯源微作为国内涂胶显影及清洗设备细分赛道龙头，有望于2021年-2023年高速成长。