单台1.5亿美元 ASML制造新一代EUV光刻机

据《连线》杂志报道，在美国康涅狄格州郊区的一间洁净室中，ASML的工程师们正在为一台单台造价1.5亿美元的新机器制造关键部件，该部件是新一代EUV系统的组成部分，会采用一些新技术来最大限度地减少其使用的光波长，包括缩小芯片的特征尺寸并提升性能。

ASML的工程师正在装配系统组件（图片来自ASML）

      要知道，当前的EUV机器已经像一辆公共汽车那么大，包含10万个零部件和两公里长的电缆，运输这些组件需要40个货运集装箱、三架货机和20辆卡车，能够买得起这种设备的公司只有少数几家，大部分供货给了台积电、三星和英特尔。至于新一代EUV光刻机，则可以让科技产业在未来十年继续保持高速发展。

      在康涅狄格州的工作室内，可以看到一块巨大的铝被雕刻成一个框架，最终形成一个面罩或“标线”，以纳米精度移动，反射一束极紫外光。同时，新机器还引入了一种新方法在芯片上产生更小的特征——更大的数值孔径，允许光以不同的角度穿过光学器件来提高成像的分辨率，这需要更大的镜面，以及新的软件和硬件精确控制组件。

      据了解，新机器的成品组件预计在2021年底运往荷兰Veldhoven，之后在2022年初添加到首台下一代EUV机器的原型机。使用新系统制造的第一批芯片可能由英特尔制造，英特尔曾表示，到2023年其会获得其中的一台设备。

只有少数公司买得起ASML的巨型机器（图片来自ASML）

      通过使用非凡的工程缩小用于制造芯片的光波长，EUV可以延续技术的领先性，从而推动智能手机、云计算、AI、生物技术、机器人等领域的快速发展。“摩尔定律的消亡论被夸大了。”麻省理工学院研究新型晶体管架构的教授Jesús del Alamo认为，“我认为它会持续很长一段时间。”