尼康拟于2028财年推出新型浸没式ArF光刻机
来源:陈超月 发布时间:2025-02-21
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尼康在其 2025 财年第三财季(截至 2024 年 12 月 31 日)财报演示文稿中透露,正与合作伙伴共同开发一款新型光刻机,该设备将兼容 ASML 主导的浸没式 ArF(ArFi)光刻生态,预计于 2028 财年(2027 年 4 月 - 2028 年 3 月)推向市场。
在当前的浸没式 ArF 光刻领域,ASML 凭借成熟的 TWINSCAN 双工件台技术,占据了超过九成的市场份额。尼康作为该领域为数不多的参与者之一,希望通过这款新产品,提升其在浸没式 ArF 光刻市场的份额,使其与在干式 ArF 领域的占比相当。
尼康认为,随着 DRAM 内存和逻辑半导体技术向三维方向发展,对浸没式 ArF 光刻技术的需求将不断增长。为了从 ASML 手中争夺更多的 ArFi 订单,尼康计划使新开发的光刻机与 ASML 同类设备生态兼容,以便原计划采用 ASML 光刻机的用户能够更轻松地迁移至尼康平台。
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