2D材料石墨烯引领半导体元件新潮流
来源:赵辉 发布时间:2025-01-26
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石墨烯作为2D材料的代表,自2004年被发现以来,已逐渐成为半导体界元件研发的热点。其应用主要为了克服先进制程中的短通道效应等负面效果。
传统制程中,通道厚度的微缩会导致漏电流增加、阈值电压变化等问题。而石墨烯等2D材料,由于其单层原分子结构,没有多余的悬空键,可以有效避免这些问题。
虽然石墨烯具有极高的迁移率,但它属于半金属,不适合作为FET的通道材料。因此,学术界开始研究其他2D材料,如过渡金属二硫属化合物(TMD)。
经过筛选,二硫化钼(MoS2)和二硒化钨(WSe2)分别适合作为n-FET和p-FET的通道材料。同时,为了形成较低的肖特基势垒高度,需要选择合适的金属材料与这些2D材料匹配。
然而,随着AI在2024年查找出50,000多种新2D材料,工程上的选择变得更加复杂。此外,如何将2D材料置放于晶圆上,以及如何在源极、通道、汲极之间形成良好的接触,都是亟待解决的工程问题。
尽管如此,2D FET的未来发展仍然值得期待。根据Imec的技术路线图,2D FET有望在CFET之后逐渐成为主流。而更进一步的2D FET演化,可能会使用2D金属材料来做源极和汲极,形成真正的2D FET。
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