imec实现12吋硅片上GaAs基纳米脊激光器全晶圆级制造
来源:万德丰 发布时间:2 天前 分享至微信
比利时微电子研究中心(Imec)宣布,在CMOS试点线上成功制造了基于GaAs的电驱动多量子阱纳米脊激光二极管,该二极管在300毫米硅片上完全单片制造,标志着硅光子学领域的重要突破。
这一成果在《自然》杂志上发表,实现了阈值电流低至5mA、输出功率超过1mW的室温连续波激光发射。
该突破证明了在硅上直接外延生长高质量III-V材料的潜力,为开发经济高效、高性能的光学设备提供了新途径,应用于数据通信、机器学习和人工智能等领域。
imec科学总监Kunert表示,imec利用纳米脊工程概念,在标准300mm硅片上首次展示了全晶圆级制造电泵浦GaAs激光器。
该激光器集成了InGaAs多个量子阱作为光增益区域,实现了室温连续波操作,阈值电流低,斜率效率高,光功率强,展示了高性能硅集成光源的可扩展路径。
硅光子学研究员Van Campenhout指出,在大直径硅片上经济高效地集成高质量的III-V增益材料是下一代硅光子学应用的关键。
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