芯辰半导体量产化合物半导体外延片
来源:ictimes 发布时间:5 天前 分享至微信
近日,芯辰半导体(苏州)有限公司传来喜讯,其外延设备已正式投产,标志着公司在化合物半导体领域迈出了坚实的一步。此次投产覆盖了砷化镓(GaAs)及磷化铟(InP)光芯片四元化合物全材料体系,为公司的未来发展奠定了坚实的基础。
据芯辰半导体介绍,其已实现波长范围760nm~1700nm外延片的量产,外延均匀性更是达到了激射中心波长外2nm之内的超高水平。
值得一提的是,芯辰半导体在典型波长的激光芯片外延片方面也已取得了显著进展。如808、850、905、940、1064、1550、1654nm等波长的外延片,已在自主产线上实现了VCSEL或DFB芯片的验证。
此外,芯辰半导体的外延片已获得了客户的长期合作订单,其中砷化镓外延片最大可支持6英寸晶圆,磷化铟外延片最大可支持4英寸晶圆。同时,公司还配套有相关晶圆质量检测设备,确保产品质量的稳定性和可靠性。
今年9月初,芯辰半导体旗下砷化镓、磷化铟高端光电子芯片IDM生产线已完成试运行,并成功投产。该产线包含了从芯片设计、材料外延、光刻、刻蚀、镀膜等芯片工艺到封装测试的完整工艺研发平台和产品生产线,为公司的未来发展提供了强有力的支持。
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