台积电在全球EUV机台安装基础中的占比已从50%增至56%。据悉，到2023年，台积电的EUV机台数量比2019年增加了10倍。

尽管台积电与供应商ASML未透露具体数量，但据外媒报道，2020至2023年间，台积电的EUV机台数量持续增长。

台积电表示，会仔细评估技术创新，并考虑其成熟度、成本及为客户带来的利益后，再部署高数值孔径EUV机台到批量生产中。

据推测，2019年台积电在成功量产业界首个EUV微影制程N7+时，EUV机台数量约为10台，而到2023年总数已超过100台。台积电的N7+、N5及N3制程均依赖EUV技术。

此外，三星晶圆代工也使用EUV技术，并已在DRAM生产中导入EUV曝光。