丰田合成携手大阪大学与三菱化学,投资6寸GaN晶圆产线
来源:ictimes 发布时间:2024-10-22 分享至微信
丰田合成正携手大阪大学与三菱化学,在2020年代下半建立6~10寸GaN晶圆低价量产线。GaN作为功率半导体新材料,与碳化矽(SiC)竞争激烈。
丰田合成采用的高品质GaN成晶技术钠助熔法(Na-Flux Method)与多点晶种(Point Seed Method)法,已成功制出8寸GaN晶圆,并于2022年制出6寸高品质GaN晶圆及功率半导体,品质与效能优于市场同类产品。
目前,丰田合成仅有一个适于实验的钠助熔法炉,难以量产。因此,该公司与三菱化学合作,研究多点晶种法的功率半导体用GaN晶圆量产线设计,旨在提高生产速率并降低成本。
丰田合成计划于2025年3月底前在日本爱知县建立第2条钠助熔法生产线,产能增至当前10倍,并开始提供6寸晶圆样品。这标志着量产技术已验证完成。
未来,丰田合成将优先开发8寸与10寸量产技术,预计2030年前后实现低成本大面积功率半导体级GaN晶圆量产上市。这将为日本汽车及电机产业提供自主的高效能GaN功率半导体来源,增强整体产业竞争力。
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