山东有研刻蚀设备用硅材料项目于10月16日迎来了历史性的时刻——全省首条集成电路刻蚀设备用硅材料生产线正式通线量产。这一里程碑式的成就不仅填补了省内相关技术的空白，更标志着在完善新一代信息技术产业链方面迈出了坚实的一步。

该项目聚焦于刻蚀设备中的核心耗材——硅环和硅电极的生产。这些关键部件对于8至12英寸等离子刻蚀机的运行至关重要，是晶圆制造刻蚀环节不可或缺的一部分。通过这条先进的生产线，山东有研将能够稳定供应高质量的大尺寸单晶硅部件加工品，预计全面达产后，年新增硅材料产量将达到204吨，为集成电路产业的持续发展提供有力支撑。

山东有研艾斯半导体材料有限公司的总经理闫志瑞表示，此次通线量产意味着公司从小批量生产向大规模生产的转变。目前，第一期生产线每月产能已达到1500片，而公司的最大目标是实现每月10000片的产能。闫志瑞还强调，公司将根据市场需求灵活调整生产规模，以确保产品供应的稳定性和及时性。