国内首条!高端光子芯片中试线启用
来源:ictimes 发布时间:2024-09-27 分享至微信

2024年9月25日,在2024集成电路(无锡)创新发展大会上,上海交通大学无锡光子芯片研究院(CHIPX)宣布启用国内首条光子芯片中试线,标志着中国光子芯片产业化迈出重要步伐。CHIPX由无锡市滨湖区人民政府、上海交通大学、蠡园经济开发区共同建设,旨在推动光子芯片技术的产业化应用。


该中试线以高端光子芯片研发为核心,聚焦量子计算机、通用光子处理器、三维光互连芯片等变革性技术的研发与落地。同时,围绕中试线平台,研究院将建设“光子芯谷”,打造新一代光子科技产业集群,面向量子计算、人工智能、光通信等领域。


光子芯片作为新一代信息技术的核心,对于满足人工智能、物联网、云计算、生物医药等领域的技术需求至关重要。国内光子芯片行业此前面临诸多挑战,如中试平台缺位、技术壁垒高、良品率低等,CHIPX的中试线将有助于解决这些问题,加速创新成果的商业化。


该中试平台总面积达17000平方米,配备了超过100台国际顶级CMOS工艺设备,实现了薄膜铌酸锂光子芯片的全闭环工艺。此外,平台还支持硅、氮化硅等其他材料体系,形成“1+N”的先进光子器件创新平台。


据悉,中试线启用后预计年产能将达到10000片晶圆,并计划在2025年第一季度发布PDK,提供对外流片服务。研究院还计划基于6/8寸薄膜铌酸锂晶圆,开发晶圆级芯片量产工艺,实现薄膜铌酸锂光子芯片规模量产。


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