佳能NIL光刻技术破冰:TIE携手共研
来源:ictimes 发布时间:2024-09-30 分享至微信

佳能公司在光刻技术领域的创新步伐再次提速,其FPA-1200NZ2C纳米压印光刻系统(NIL)的正式交付给德克萨斯电子研究所(TIE),标志着这一非传统光刻技术向商业化应用迈出了关键一步。


TIE,作为德州大学纳米制造系统中心的衍生机构,汇聚了Intel、NXP、Samsung等半导体巨头的力量,以及DARPA的慷慨资助,其目标直指高级异构集成的最前沿。佳能NIL技术的加入,无疑为这一联盟注入了新的活力与可能性。尽管目前芯片制造商对NIL技术尚存疑虑,但TIE的研究无疑将加速这一技术的验证与普及进程。


与传统DUV和EUV光刻技术相比,NIL以其独特的工艺优势脱颖而出。它摒弃了复杂的光学系统,通过直接压印模具的方式,实现了电路图案的精准复制,不仅简化了生产流程,还降低了成本。然而,NIL的串行工作模式也带来了效率上的挑战,同时,如何在生产过程中有效控制尘埃颗粒、开发兼容材料以及实现与现有制造流程的融合,都是佳能及整个行业需要共同面对的问题。


尽管如此,佳能对NIL技术的未来充满信心。他们预计在未来三到五年内,NIL光刻机的年销量将达到10至20台,随着研究的深入和技术的不断成熟,NIL有望成为半导体制造领域的一颗新星,引领行业向更高效、更经济的方向发展。


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