东方晶源推出PanGen DMC,助力光刻设计精度提升
来源:ictimes 发布时间:2024-09-24 分享至微信

近日,东方晶源在其官方渠道宣布,PanGen DMC(Design Manufacturability Check)成功完成验证,标志着其在光刻技术领域的一项重要突破。基于强大的PanGen®计算光刻平台,PanGen DMC®结合了先进的D2C(Design To Contour)快速反馈引擎,能够以人工智能模型的方式打包整套OPC Recipe解决方案,从而帮助用户快速、准确地预测硅片上的最终形貌。


实测数据显示,PanGen DMC®在国内某先进节点的FAB中展现出卓越的性能,其全芯片预测结果在99%以上的版图位置上,误差小于1nm。这一成果不仅验证了其D2C反馈引擎的高效性,也证明了该技术能够接近完整OPC Recipe的实际效果。


更重要的是,PanGen DMC®能够在设计阶段提前识别潜在缺陷,提高了设计的可制造性。实测结果显示,该系统对严重缺陷的捕获率超过90%,为光刻过程提供了及时反馈,帮助工艺团队做出更精准的决策。


总体来看,PanGen DMC®的推出无疑为半导体行业注入了新的活力,推动了设计和制造的无缝衔接,为未来的技术进步奠定了坚实基础。东方晶源凭借这一创新,展现了其在行业中的领导地位和前瞻性。


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