奥地利EEMCO建设8英寸SiC工厂,预计2026年投产
来源:ictimes 发布时间:2024-09-22 分享至微信
奥地利SiC厂商EEMCO正在建设一个6英寸/8英寸SiC项目,其中8英寸衬底已成功研发,预计2026年投产。EEMCO利用专有的PVT工艺生产高质量SiC晶体,并将其8英寸SiC技术引入位于挪威的ARCTIC SiC衬底厂。该工厂将100%使用水力发电,成为欧洲首个零排放SiC生产设施。
EEMCO是EBNER集团的一部分,该集团原本专注于工业炉制造,但从2018年开始研究和开发SiC生长技术,并在2020年成立了EEMCO。EEMCO还与莱奥本矿业大学合作开发新的建模方法,以提高单晶生长质量。此外,EBNER集团成立的SICREATE公司为EEMCO提供高纯度SiC粉末,采用超高真空硅碳化物烧结工艺,确保了产品的高标准纯度和粒度。
EEMCO通过其姊妹公司内部供应SiC粉末,确保原材料的高质量和供应稳定性。公司还与Evident合作,利用定制软件和人工智能技术提高晶圆上缺陷检测的准确性和效率。EEMCO的这些举措旨在打造欧洲自主的SiC供应链,满足5G Advanced和国防应用中对高性能SiC材料的需求。随着8英寸SiC项目的推进,EEMCO有望在第三代半导体材料市场中占据重要地位。
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