中国电科48所:8英寸碳化硅外延设备获升级
来源:ictimes 发布时间:2024-09-10 分享至微信

9月5日,中国电科官方宣布,其48所自主研发的8英寸碳化硅外延设备成功实现关键技术升级。


此次升级后的8英寸碳化硅外延设备,通过激光视觉定位与晶圆自纠偏技术的精妙结合,设备的自动化水平跃升至新高度,生产效率显著提升,为大规模生产提供了强有力的技术支持。


值得一提的是,湖南省科技事务中心还透露,中国电科48所在研发过程中展现出了卓越的创新精神。中国电科48所研发的8英寸设备在6英寸设备的基础上进行了革新,其外延层的厚度以及掺杂浓度的均匀性,都得到极大的提升:8英寸生长厚度均匀性小于1.5%,掺杂浓度均匀性小于4%,表面致命缺陷小于0.4个/cm2。


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