华海清科:12英寸设备首批产品已交付
来源:ictimes 发布时间:2024-06-13 分享至微信
华海清科近日宣布,他们的全新12英寸晶圆封装减薄贴膜一体机Versatile–GM300成功出机,首批产品已交付国内头部封测企业。
这款Versatile–GM300是继华海清科推出先进封装领域量产机型Versatile–GP300后的又一重要产品。该设备采用全新设计,可以灵活实现薄型晶圆背面的超精密研削和干式抛光,同时与晶圆贴膜机联机使用,全流程自动化地提供从精密减薄、清洗干燥到背膜剥离的工艺,以满足高端封装领域对薄型晶圆生产工艺的需求。
据华海清科介绍,Versatile–GM300在技术上突破了超薄片减薄工艺的技术壁垒,采用先进的厚度均匀性控制技术,可以实现片内均匀性TTV<1.0μm,达到了国内领先和国际先进水平。
资料显示,华海清科是一家拥有核心自主知识产权的高端半导体设备制造商,主要产品包括CMP设备、减薄设备、湿法设备和晶圆再生设备等。
华海清科的Versatile–GM300晶圆封装减薄贴膜一体机的成功推出,不仅展示了公司在半导体制造领域持续创新的能力,也为封装领域的生产工艺提供了重要技术支持。该设备的高精度和高灵活性将为晶圆背面处理工艺带来革新,有望进一步推动半导体封装技术的发展。
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