EUV光刻机走到头?ASML如何实现技术突破
来源:ictimes 发布时间:2024-02-29 分享至微信

近日,业界盛传美、日、韩、台、荷五地的芯片纽带可能面临断裂,核心问题聚焦在EUV光刻机技术上。这一被誉为半导体产业皇冠上的明珠的技术,似乎已走到尽头,面临突破困境。


五地之所以形成紧密的芯片产业联盟,很大程度上依赖于ASML的EUV光刻机技术。美国、日本为ASML提供关键供应链支持,同时作为大股东,与韩国、中国台湾的台积电、三星等芯片制造商形成深度绑定。然而,随着EUV光刻机技术的发展似乎陷入瓶颈,这一联盟可能面临重大挑战。


最新的Higt-NA光刻机虽然带来了一定的性能提升,但业界普遍认为这可能是EUV技术的终点。ASML虽然未完全放弃未来技术突破的可能性,但即便有突破,也可能要等到2030年以后。在此背景下,三星已经抛售了所有ASML股份,英特尔、台积电等也减少了持股,显示他们对EUV技术的未来信心不足。


台积电等公司已经开始探索其他芯片制造路线,这无疑为现有的EUV联盟带来不稳定因素。新一代光刻技术或新制造路线的出现,可能会彻底改变现有的产业格局,使得曾经的“EUV光刻联盟”面临瓦解的风险。


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