ASML新款EUV光刻机安装成功
来源:ictimes 发布时间:2024-03-15 分享至微信

ASML最新推出的Twinscan NXE:3800E EUV光刻机已经完成安装,为芯片制造行业带来了更高的生产效率。虽然该机型的官方信息页面尚未上线,但预计它将为制程节点更为尖端的芯片生产提供支持,有望覆盖3纳米至2纳米的制程。


与之前的机型相比,Twinscan NXE:3800E在对准精度和产能方面都有了显著提升,预计每小时可达到195片晶圆的吞吐量,较前代机型提升了近22%。这将有助于满足日益增长的芯片市场需求,为行业发展注入新的动力。


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