JSR光刻胶(i,KrF,ArF)大汇总
来源:Tom聊芯片智造 发布时间:2023-09-18 分享至微信
前几期中,我们汇总了,AZ系列光刻胶,Tok光刻胶,见文章:
AZ系列光刻胶大汇总
TOK光刻胶(g/i,KrF,ArF)大汇总
本期,我们再汇总一下JSR公司的现有光刻胶种类。
JSR公司简介
JSR Corporation 是一家日本的化学品公司, 最初成立于1957年,名为 "Japan Synthetic Rubber Co., Ltd.",主要生产合成橡胶。1997年开始生产光刻胶,是半导体和显示产业的关键供应商。
产品种类有:
1,合成橡胶
2,光刻胶、CMP研磨材料、封装材料
3,生物医学和生物制药行业的材料
4,液晶显示材料、碳纤维等

JSR光刻胶型号
i线
正胶:IX305H,IX420H,IX725D3G,IX1025L
负胶:NFR105G,NFR107


KfF
V146G.M272JN,M425JB,M402JB,M360Y


ArF
线:AR2772JN,AIM9310JN,AEX4459JN,AEX4780J,
孔:AR2772JN ,AIM6779JN,AEX3791J

目前已介绍了三家著名公司的光刻胶产品,几乎涵盖了G线到EUV几乎所有的CD,胶厚,希望大家在选择光刻胶时不会太过迷茫。

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