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为什么光刻区要用黄光灯？

来源:Tom聊芯片智造发布时间:2023-09-12

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进入过无尘间光刻区的朋友，应该都知道光刻区里用的都是黄灯，这个看似很简单的问题的背后却蕴含了很多鲜为人知的道理，我见过有的新建的实验室，为了省钱，找了一些没有经验的施工方，随意买了一些黄灯管装在光刻区。这个万万不可取，选择黄光灯时也是有讲究的。

光刻胶的组成？

之前的文章有介绍过光刻胶的组成，见文章：

揭秘传统I-line光刻胶配方

光线的组成？

紫外线：10纳米到400纳米

可见光：

紫色：约400纳米到450纳米

蓝色：约450纳米到495纳米

绿色：约495纳米到570纳米

黄色：约570纳米到590纳米

橙色：约590纳米到620纳米

红色：约620纳米到750纳米

红外线：750纳米到1毫米

其中光刻胶的感光范围通常位于200nm-500nm，这意味着在这个范围内的光线可以引发光刻胶的化学反应。从上文可以看到,200-500nm的光线有紫外线，紫光，蓝光。因此这三种光线在光刻区是一点也不能存在的。

光刻区为什么选黄光灯？

阻止紫外线：

黄光的波长远离UV范围，因此不会引起光刻胶的意外曝光。黄光灯通常不含有紫外线，从而保护光敏材料免受不必要的曝光。

减少眩光

黄光比白光或其他颜色的光更柔和，因此它不太可能在设备或晶圆的表面产生刺眼的反射或眩光。这有助于操作员更准确地进行工作。

颜色准确性

使用黄光可以确保在光刻过程中，颜色敏感的化学品或其他材料的颜色不会受到其他光源的影响或失真。这有助于操作员更准确地判断和处理材料，确保制造过程的一致性。

舒适性

相对于其他光源，黄光对人眼更为友好，尤其是在长时间的操作下。减少眼睛的疲劳和刺激，对于长时间在光刻区工作的员工来说，这一点十分重要。

为什么不使用红光或绿光？

红光和绿光的波长都大于500nm，但是我们却选择了黄光，这是因为虽然红光和绿光对光刻胶没影响，但是对人员的影响确实很大。红光可能使细节更难以识别，而绿光可能对眼睛产生更多的眩光。也就是红光和绿光对人不友好，所以弃用。

黄光灯里只有黄光吗？

黄光这个术语涵盖了一个较宽的波长范围，从约570纳米到620纳米。这个范围内，光的颜色可以从深黄色变为橙色。因此，有时光刻室内的灯具可能会发出接近橙色的黄光。

总的来说，光刻室的照明不一定是纯黄光，而可能是黄色到橙色的混合，关键是这些波长的光不会对光刻胶造成不必要的曝光。

黄光灯的类型？

以前：钠蒸气灯

目前：LED

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