集微网消息，10月10日，至纯科技在互动平台表示，公司三季度半导体设备的产能正在按今年的扩产计划逐步提高中，预计年底产能可达150台。晶圆再生业务今年度将产生部分收入。

据悉，至纯科技主营业务主要包括半导体制程设备、工艺支持设备的研发和生产销售，以及由此衍生的高纯工艺系统建设、电子材料、部件清洗及晶圆再生等服务。

至纯科技2022年半年度报告显示，报告期内，公司整体实现营业收入11.20亿元、扣除非经常性损益后归属于公司普通股股东的净利润0.97亿元，比上年同期分别增加 21.67%、128.12%。其在半年报中指出，归属于上市公司股东的扣除非经常性损益的净利润增加128.12%主要系公司半导体设备业务增长所致。

至纯科技在半年报中透露，公司目前拳头产品包括SPM、晶背清洗等机型在下游核心关键工序段均得到第一梯队客户的广泛认可，并获得持续订单。特殊工艺领域，公司湿法设备可覆盖第三代半导体晶圆制造全工序段，截至公告日，国内头部几大第三代化合物半导体生产企业已累计向公司订购相关湿法设备接近40台。

在互动平台上，对于美国新一轮制裁，至纯科技表示该事件对公司无实质性影响。公司没有美籍员工，高管均非美籍，实控人为中国籍，公司设备供应链涉及进口部分在日本、韩国。（校对/赵碧莹）