根据芯思想和芯思想研究院的调研，截止2021年第四季度，中国内地12英寸、8英寸和6英寸及以下的晶圆制造线共有210条（不含纯MEMS生产线、化合物半导体生产线和光电子生产线）。

截止2021年第四季度，已经投产的12英寸晶圆制造线有29条，合计装机月产能约131万片（其中外资公司装机月产能超过61万片）；已经投产的8英寸晶圆制造线投有29条，合计装机月产能约125万片；已经投产的6英寸及以下晶圆制造线装机产能约420万片等效6英寸晶圆产能。

截止2021年第四季度末在建或规划签约的12英寸晶圆制造线（包含中试线）有26条，相关投资金额高达6000亿元，规划月产能达134万片；而在建或规划签约的8英寸晶圆制造线只有10条。

中国内地城市12英寸装机产能分布

截止2021年第四季度，12英寸装机产能分布按产品类型来看，最大的是来自存储器芯片，装机月产能84万片（其中外资公司装机月产能为55万片）；第二是逻辑产品，装机月产能28万片；第三是模拟功率器件产品，装机月产能24万片。

目前，中国内地建设12英寸晶圆制造生产线城市的有20个，12英寸装机产能分布按城市排名：无锡、西安、武汉、合肥、北京位居前五位；第六位到第十位依次是上海、大连、厦门、广州、南京。

中国内地城市8英寸装机产能分布

8英寸装机产能分布按城市排名：上海、无锡、天津、苏州、杭州位居前五位；第六位到第十位依次是绍兴、成都、重庆、深圳、北京。

中国内地晶圆制造公司产能排名

公司装机产能排名不计算存储器公司产能。

本土代工12英寸晶圆制造产能排名前四的公司（不考虑工艺水平）

中芯国际、华虹集团、晶合集成、粤芯

等效8英寸晶圆排名前四的公司分别是：

中芯国际、华虹集团、士兰微、华润微